产品名称：双振镜扫描方头

产品描述和主要用途: 在一个方头内安装两套X/Y振镜，两套振镜共用一个聚焦镜头。在聚焦镜头一定的情况下，提升扫描范围。方头内两套振镜分别控制，同时工作，加工效率提高100%。比起使用多个方头同时工作，双振镜方头结构更加紧凑，占用空间减小,效率更高，而且可以有效解决晶圆翘曲时的加工效果变差的问题。主要用于晶圆的标记、划线、打码等方向。

服务时间：从2020年推出，预计服务时间超过5年

产品主要技术指标描述

产品在使用F250mm焦距的镜头进行聚焦时，可以实现BOX200mm×200mm范围的标记，

在做拼接使用时拼接精度<20um

产品特点（兼容性、技术先进性）

双振镜方头的外观如下图所示，方头内部有两套振镜片Ax/Ay和Bx/By，下方可连接不同焦距的聚焦镜头。

A路和B路两束激光从不同方向进入方头分别照射到两套振镜Ax/Ay和Bx/By上。经过振镜的反射后，两路光再通过同一聚焦镜头聚焦。方头上电后分别控制两套镜片摆动，使两路激光聚焦在所需的地方，完成激光加工。

该方头相比于已有的单振镜方头，扫描范围增加了近30%，有效地减少了需要拼接的部分，使加工精度得到提高。方头在调试过程中，经过粗调和精调，两套振镜扫描范围重合。保证了两套振镜单独加工时，精度达到要求，和单振镜方头精度相同。并行工作时，拼接处的加工精度高，优于两套单振镜方头同时加工的精度。

两套振镜同时工作比单振镜工作效率提高了一倍。使用两套或者多套单振镜方头，效率可能和本方头相同。但多套单振镜方头的使用会占用更多空间，使系统更加冗杂，在晶圆翘曲变形时拼接精度无法达到要求。

产品创新（技术团队，技术来源及产品创新点）

在一个方头内安装两套振镜，共享一个聚焦镜头，通过光学、机械的创新设计以及电机控制，实现无缝拼接，提高效率100%，有效利用镜头通光孔径，增大扫描范围超30%。并同时降低成本。

市场情况（与国内或国际同行业领域相比所具有的竞争能力，如市场规模、品牌服务等）

目前市场上只有一家国外公司设备上有类似的产品，但是价格是本产品的2-3倍，据客户反馈，由于是国外技术，产品固定，使用时无法进行技术扩展，售后技术服务也有待提高。

本产品已经在国内几家大的晶圆加工场的产品线上使用，客户反馈良好，满足客户实际加工需求，效率超出预期，又有大族激光优秀的研发团队以及售后服务团队加持，可以展望在以后几年中会得到广泛应用。