申报项目：

薄膜表面节瘤缺陷清除仪

主要用途：

在镀膜过程中，由于膜料杂质和环境污染因素，导致在膜层生长过程中形成节瘤，在强激光作用下会导致节瘤的崩裂，使光学薄膜器件损伤。我们经过改变激光参数，反复实验发现，特定峰值功率密度的激光可以去除膜层中的节瘤而不损伤其它部分。

根据此研究结果，我们设计研发了薄膜表面节瘤缺陷清除仪，可以去除膜层中的节瘤，提升其抗激光损伤能力。此外，在光学元件镀膜前，还可利用此设备对光学镜片和激光晶体表面清洗，提升光学元件表面的抗损伤性能。

该产品针对大功率固体激光行业专门开发的薄膜表面节瘤缺陷清除仪，为国内首创，从激光器件到整机均为本公司独立开发生产。

产品特点

Ø 光机电三层空间独立模块集成；

Ø 核心系统和制冷分离设计；

Ø 全方位抗反射封闭加工设计；

Ø 集成FFU无尘化加工区域；

Ø 激光器件内循环除尘处理；

Ø 兆瓦级峰值功率；

Ø 优异的光束质量输出。

产品创新

一、技术团队及技术来源

同方中科超光科技有限公司成立于2020年10月30日，是由中核集团控股的清华同方集团和中科院理化技术研究所共同成立的高新技术企业。公司依托中科院理化技术研究所激光团队高功率激光技术基础，结合中核集团和清华同方的资源优势，致力于为全球用户提供各类高功率激光产品和应用解决方案。

公司基于中科院理化技术研究所具有国际领先水平的强大激光技术团队，并引进清华大学、武汉大学、天津大学、哈尔滨工业大学等国内重点科研院所优秀人才，围绕高平均功率/大能量短脉冲激光和高平均功率窄线宽激光两大主要方向，创新研发各类短脉冲、窄线宽激光系列化产品，广泛用于医疗、电子产品加工、表面处理、复合材料切割及核工业应用等多领域市场。

二、产品创新点

大能量、高功率固体激光是激光及其加工应用系统的重要发展趋势。高损伤阈值的光学薄膜元件是制约其发展的核心元件之一。由于生产环境的污染和镀膜材料中杂质的影响，光学薄膜生长过程中会形成节瘤，导致光学薄膜本身的损伤阈值降低，是激光系统中最容易被激光破坏的部分，因此，提高光学薄膜元件的抗激光损伤能力已成为高能激光领域亟待解决一个迫切问题。

1）在薄膜表面节瘤缺陷清除研究方面，我们通过改变激光参数、反复实验发现，特定功率密度的激光可以清除薄膜中的节瘤缺陷而不损坏其它部分，可提高光学薄膜器件的损伤阈值，基于此研究发现，我们设计了首台薄膜表面节瘤缺陷清除仪。

2）在薄膜表面节瘤缺陷清除仪研制方面，采用了将容易产生灰尘的器件和加工区域分离设计，保证了加工过程中加工材料不受环境灰尘的影响。同时创造性的将加工区域引入百级FFU过滤系统，保证加工过程中产生的杂质快速脱离加工光学表面，并实时排出系统外面。同时FFU产生的垂直风流还进行二次利用，将电控部分产生的废热排出系统外面。为避免激光在工作时随机反射和折射出加工区域造成安全隐患，我们将加工器件完全隔离在一个小型封闭空间。同时，我们采用非对称式加工的方式避免返回光损伤激光加工系统。

3）在激光器方面，我们使用内循环过滤系统，在激光器工作过程中，可同步过滤激光腔内灰尘，保证激光器件在高无尘环境下工作。在激光器内部集成温度、湿度探头随时监控激光器使用时内部状态。采用单向防污除湿设计，保证激光腔内光学器件在干燥环境下工作，提高激光器使用的稳定性和可靠性。

市场情况

该产品为行业内独创性产品，在国内外未发现类似功能激光设备。

该设备在科学前沿研究、国防工业、工业加工等激光应用领域，应用价值和市场前景巨大。